金融界2024年9月25日音讯,国家知识产权局信息数据显现,盛青永致半导体设备(姑苏)有限公司获得一项名为“一种半导体设备主动加药设备”的专利,授权公告号 CN 221753099 U,请求日期为2023年12月。
专利摘要显现,本请求公开了一种半导体设备主动加药设备,包含设备箱体,还包含:料泵,设备在设备箱体顶端;加药组织,连通在料泵底端,不光能够将药加入到设备箱体内,并且,还能够对设备箱体内的药物进行混合处理,加药组织包含榜首连接收。本请求通过旋转接头、齿轮和榜首搅动杆的结合,不光能够利用料泵将药物输入到旋转接头和连接收中,使药物进入到设备箱体内,并且,在药物进入完成后,能够通过齿轮旋转带动旋转接头和榜首搅动杆旋转,然后通过榜首搅动杆对药物进行混合处理,将混合组织与加药组织一体化设置。